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低温无油真空泵指的是利用20K以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵。低温无油真空泵的工作原理和一般容积泵相同,由定子、转子、旋片、缸体、电机等主要零件组成。带有旋片的转子,偏心地安装在定缸内,当转子高速旋转时,转子槽内四个径向滑动旋片将泵腔分隔成四个工作室,由于离心力作用,旋片紧贴在缸壁,把定子进排出口分离开来,周而复始运转,进行变容,将吸入气体,从排气口排出,从而达到抽气目的。(低温无油真空泵
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